该厂为8厘米晶圆生产销售线配套工程的超蒸馏水体统，每日发生含硅污废水 150吨。污废水 中虽无天价属，但硅含铁高易水垢，且电阻功率率需达到18MΩ·cm性能中水回用。原先的进行处理工学院艺無法达到新发布的《电子设备化学工业水严重废水的相关排出标准》（GB39731-2020）特殊的排出限制值。 废渣基本成分特征 基本弄脏物 ：氢氧化铁硅（200-300mg/L）、颗粒肥料硅（粒度0.1-1μm） 特定必须 ：TOC<10μg/L，硼含磷量<5μg/L 水的硬度性能 ：低纯水电导率（<50μS/cm）但硅有机化合物结构繁琐 除理加工标准流程 信息化按照"梯级膜离心分离+电去铝离子"女子组合制作工艺： 微滤预处置 ：1μm卫浴陶瓷膜截拦大粉末硅，通量持续80LMH 正离子交互树脂材料 ：D201大孔树脂胶选定性吸附物硅酸碳原子 二次RO系统的 ：最后段出售率60%，最后段适用高脱硼膜组件 EDI电去铁离子 ：电流大小密度计算2A/m²，持续保持祛除残存阴离子 太阳光的紫外线杀菌消毒 ：254nm太阳光的紫外线灯线残留量40mJ/cm² 能力创新举措 发展常用阻硅剂（有机的胺类复合型物），延长膜弄脏周期时间3倍 EDI接口改革创新流道设计的，硅弄掉率的提升至99.8% 在线上硅分享仪（自动精度等级图0.1-500μg/L）实现了精准性的把控好 正常运作成果 经3、方判断： 总硅从280mg/L降低0.05mg/L 硼量从8μg/L减少为0.3μg/L 软件回收利用率从原40%完善至68% 膜换个寿命延长至至5年，年运营资金较低35%