该例来源于华东区域区域哪家较大型半导体技术打造中小单位,关键生孩子制造智能家居控制电路系统存储芯片。在生孩子制造全过程中,晶圆清理、蚀刻等工艺需用到许多光学级磷酸(饱和度≥85%),因而行成高质量浓度含磷废水操作工艺。中小单位原来的操作的设施时未要求逐步要从严的减排规格(TP≤0.5mg/L),亟需升极提升。
废液的成分及来源于
废污水处理关键来原于四个部分:晶圆清晰废污水处理(占总供水量60%)、系统冲泡废污水处理(30%)相应水泥地面冲泡废污水处理(10%)。水源成绩形式成绩为:pH值1.5-2.5,总磷含碳量800-1200mg/L,氟阴离子含碳量50-80mg/L,COD约200-300mg/L,并具有少量高价属(铜、锌等)。
操作工作流程工作流程
工程选取"预加工处理+化学上的积累+高级的氧化的+进一步滤水"的组合成技术:
调结池
:均衡性水污染出水量,应设pH优酷云评估体系
七级不起作用池
:添加制作石灰乳缓解pH至8.5-9.0,建立Ca3(PO4)2沉淀出的
一级不良反应池
:更改PAC和PAM强化装备二沉池成果
斜板悠长岁月中池
:进行固液分离处理,污泥处理进行脱水过滤平台
Fenton脱色第一单元
:H2O2与Fe²⁺联合意义溶解有机化学物
多材质滤出器
:熔融石英砂+亲水性炭组合构成过滤程序,保持冒水清清的
亚铁离子交換系统性
:进步我们要除残渣金属材料铝离子
以后功效
系统性运动安全后,留水污水水质:总磷≤0.3mg/L,COD≤30mg/L,氟铝离子≤5mg/L,相关完成指标强于《电子器材制造业水破坏物直接进行排放标准的要求的》(GB 39731-2020)。年避免磷直接进行排放约15吨,活性污泥制造量较过去的加工制作工艺 缩减40%,运动成本费掌控在8.3元/吨水。