半导体晶圆划片废水怎么处理方法|半导体晶圆划片废水处理案例
工作背景图片
该中小机构为全国领先地位的半导测封中小机构,在珠四角的地区,常见展开中档IC芯片的片区和芯片封装测式。原因本市的环保让按照严格,中小机构决策进行废水处置零排卸公程。的项目于22年启动服务器,202几年6月建造投运,处置规模较为200吨/日,总的投资约2000万美元。
焦化废水物质及特征
该类效果划区化工废水更具以上作用:
高盐氧化还原电位氟化物,核心源自晶圆切开后的难以清理工艺程序,氟阴离子盐氧化还原电位到达150-200mg/L
含带納米级硅粉小粒,粒度多在100-500nm左右
有机物功率因数补偿较高,COD在500-800mg/L
具有微量分析天价属如铅、镉等
导电率高,普通在2000-3000μS/cm
操作新工艺程序
为控制零尾气排放要求,技艺设计的至关重要充分考虑废水处理归类的回收利用和资源共享的回收利用:
污水种类获得软件系统
:将含氟废气与另一废气分不开自身
普通机械沉垫除氟
:利用有级钙盐凝固自己法,紧密配合快速凝固自己池
高层脱色工作
:二防氧化碳离子液体防氧化溶解难办理巧妙物
膜精浓机系统
:所采用DTRO碟管式反融合,浓缩咖啡3的倍数为10倍
汽化沉淀
:MVR机械装备蒸气再解压缩多效空调冷凝器办理浓水
潮湿软件系统
:将结晶体盐干后是鑫霖环保副品牌外售
处里使用效果
系统性开机运行数据体现 体现 :
氟化物除掉率>99.9%,喷水氟阳离子<1mg/L
COD总出掉率>98%,满水后COD<20mg/L
自然资源共享收集率>95%,仅发生一定量结晶体盐
一年可二手回收高品控循环水约8万吨
心得盐溶解度可达轻工业级规格,做到网络秸秆综合用用
品牌不但改变了焦化废水零尾气排放标准,还利用信息回收利用营造了约80W/年的三倍回报率。